Jiunn-Woei Liaw, 蕭 祝螽, 陳 蔚宗
研究成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行評審
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TY - JOUR
T1 - OES技術於電漿製程監測之應用
AU - Liaw, Jiunn-Woei
AU - 蕭, 祝螽
AU - 陳, 蔚宗
PY - 2004
Y1 - 2004
KW - 光放射光譜
KW - 製程監控
KW - 電漿
M3 - 文章
SN - 1022-9787
SP - 171
EP - 176
JO - 工業材料
JF - 工業材料
IS - 213
ER -