Reoxidation after NH3 plasma nitridation for multiple-thickness oxynitrides

Chao Sung Lai*, Kung Ming Fan

*此作品的通信作者

研究成果: 期刊稿件文章同行評審

1 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Reoxidation after NH3 plasma nitridation for multiple-thickness oxynitrides」主題。共同形成了獨特的指紋。

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