Solid Phase Crystallization of Fluorine-Implanted Amorphous Silicon on SiO2

貢獻的翻譯標題: 氟離子佈植非晶矽薄膜之固相結晶

馬家騏

研究成果: 論文類型博士論文

貢獻的翻譯標題氟離子佈植非晶矽薄膜之固相結晶
原文美式英語
監督員/顧問
  • Chang, Ruey-Dar, 指導教授
出版狀態已出版 - 2011
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