Solid phase epitaxitial regrowth of amorphous silicon with phosphorus and carbon coimplantation

貢獻的翻譯標題: 磷碳共同佈植非晶矽之固態磊晶成長

魏弘益

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題磷碳共同佈植非晶矽之固態磊晶成長
原文美式英語
監督員/顧問
  • Chang, Ruey-Dar, 指導教授
出版狀態已出版 - 2013
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