The Fluorine Ion Effect of Er2O3(Erbium Oxide) Dielectrics Deposited on Polycrystalline Silicon

貢獻的翻譯標題: 使用三氧化二鉺介電層於複晶矽的氟離子效應之研究

范軒琦

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題使用三氧化二鉺介電層於複晶矽的氟離子效應之研究
原文美式英語
監督員/顧問
  • Kao, Chyuan-Haur, 指導教授
出版狀態已出版 - 2010
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