The oxidation mechanism and the effect of nitrogen implanted silicon substrate

貢獻的翻譯標題: 氮植入矽基板的影響及成長氧化層的機制

俞建安

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題氮植入矽基板的影響及成長氧化層的機制
原文美式英語
監督員/顧問
  • Lin, Jeng-Ping, 指導教授
出版狀態已出版 - 2000
對外發佈

引用此