The Process Development of Nitrided and Fluorinated High-k Dielectrics

貢獻的翻譯標題: 氮化及氟化高介電係數絕緣層之技術開發

王茂盈

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題氮化及氟化高介電係數絕緣層之技術開發
原文美式英語
監督員/顧問
  • Lai, Chao-Sung, 指導教授
出版狀態已出版 - 2008
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