The Process Development of Nitrogen Incorporation in Hf-Mo Binary Alloys Metal Gate Electrode

貢獻的翻譯標題: 鉿鉬二元合金金屬閘極氮化製程開發

黃至偉

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題鉿鉬二元合金金屬閘極氮化製程開發
原文美式英語
監督員/顧問
  • Lai, Chao-Sung, 指導教授
出版狀態已出版 - 2007
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