The Study of Ti-doped Tb2O3 and Y2O3 High-K Dielectrics on Polycrystalline Silicon by RF Sputtering

貢獻的翻譯標題: 射頻濺鍍鈦摻雜之三氧化二鉍、三氧化二釔高介電絕緣層在複晶矽上的研究

鍾育騰

研究成果: 論文類型碩士論文

貢獻的翻譯標題射頻濺鍍鈦摻雜之三氧化二鉍、三氧化二釔高介電絕緣層在複晶矽上的研究
原文美式英語
監督員/顧問
  • Kao, Chyuan-Haur, 指導教授
出版狀態已出版 - 2010
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